本文檔提供有關清潔要求的信息,重點介紹表面或零件或裝配體大部分的分子污染。有限的分子污染水平對於實現指定的光學器件壽命性能至關重要。請注意,此 GSA 特別適用於可目視檢查的零件和/或必須使用 RGA 驗證其排氣的部件。對於供氣管路內部,有單獨的天然氣供應管路分子污染 GSA (GSA 07 9710)。在某些情況下,真空管路也會有脫氣要求,因為旁邊的分子污染,顆粒污染必須受到限制,以防止成像缺陷,即缺陷問題。粒子要求在專用 GSA 中描述。這些要求列在 TPD 工作表 110-001 上,並除本 GSA 中描述的分子污染要求外也適用。
正在翻譯中..
