안녕하세요.
요청하신 사항에 대하여 관련 자료 송부드립니다.
추천하고자 하는 제품은 동진 고해상도 PR 제품이며 AUO, InnoLux 에도 이미 소개했던 것으로 알고 있습니다.
1. 제품명 : DSP-T1000
2. 점도 : 조절가능
3. 해상도 : L/S 및 Hole : 2.0um 구현 가능
보내주신 내용 중 문의사항이 있어 보내드리오니 확인부탁드립니다.
1. Photospeed : 10um → 노광량 28~30mJ 과 무엇이 다른가요?
2. Post Bake : 135'c / 120sec → 동진 제품은 Post bake 온도 130도 추천입니다. 평가 시 반드시 130도로 진행해야 합니다.
135도로 진행한다면 미세 Pattern (고해상도) 구현이 어렵습니다. 고객사에 전달 부탁드립니다.
3. 사용량 : 전 Layer 전환 기준이 아닌 것으로 판단됩니다.
기존 SR-210 이라는 제품으로도 아래 Spec 은 구현 가능합니다.
그리고, 5.5세대 설비라면 월 5톤이면 포토설비 3대 물량 수준입니다.
신규 공정용으로 보입니다만 현재까지 파악된 내용이 있으시거나 추가로 파악하시어 공유해 주시면 좀 더 도움이 되겠습니다.
감사합니다.