【발명을 실시하기 위한 구체적인 내용】이하 도면과 본 발명의 바람직한 실시예를 결합하여 본 발명이 소정의 창작 목적을 달성하기 위해 취한 기술적 수단을 더 상세히 설명한다.도 1, 도 3 및 도 4를 참고하면 이들 도면은 본 발명의 제1 실시예에 따른 기구의 수평 기준을 유지하는 진공 챔버를 나타낸다. 상기 진공 챔버는 주 챔버(10), 강성 구조체(20), 베이스(30), 복수 개의 제1 완충 파이프(40), 복수 개의 제2 완충 파이프(50)와 진공 배기 장치(60)를 구비한다.주 챔버(10)는 직사각형 하우징이며 배면(11)과 하부면(12)을 구비한다. 주 챔버(10)는 둘러싸 내부 공간 및 내부 공간과 연통하는 주 개구(13)를 형성한다. 주 개구(13)는 주 챔버(10)의 배면(11)을 관통하며, 배면(11)은 내측으로 함몰되어 홈부(14)를 형성한다.